北京微電子精密溫控 推薦咨詢 南京拓展科技供應

在中國，隨著制造業的快速發展和產業升級，半導體、航空航天、生物醫藥等領域對高精密環境控制設備的需求急劇增長。據市場研究機構QYResearch預測，全球高精密環境控制設備市場規模預計在未來五年內將以年均超過8%的復合增長率增長，到2028年將達到數十億美元規模。在半導體領域，隨著工藝向更高精度邁進，2nm工藝要求溫度控制精度從±0.1℃提升至±2mK，全球晶圓廠每年在溫度控制設備上的投入超過50億美元；光電光學領域，高duan光學顯微鏡、量子光學實驗等對溫度控制精度要求極高；量子計算領域，量子比特對溫度極為敏感，高精密環控艙是必需設備，未來5年需求可能呈指數級增長。同時，各國產業政策也推動了高精密環境控制設備市場的發展。美國《芯片與科學法案》、歐盟“歐洲量子旗艦計劃”、中國《十四五集成電路產業發展規劃》等政策的出臺，為行業發展提供了良好的政策環境和資金支持。
精密測量要求環境高度潔凈，以防止微粒、塵埃和顆粒物影響測量精度。可以使用HEPA過濾器、潔凈工作臺等。北京微電子精密溫控

極測（南京）技術有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在實驗室專業領域的沉淀，尤其是暖通及自控方面的專長，同時匯聚了30多名擁有15年以上經驗的行業前列工程師，致力于為芯片半導體、精密光學、科研研發等領域提供定制化的高精密環境解決方案，現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業與**重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景，科學技術成果認定為國際先進水平。目前，高精密環境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環境參數及使用需求，持續**超高精密環控技術革新。上海步入式精密溫控擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環境參數及使用需求，持續**超高精密環控技術革新。

控制精度是衡量精密環控設備的關鍵指標，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環控設備的控制能力越強。極測（南京）技術有限公司的精密環控設備運用自主研發的高精密控溫技術，能達到 0.1% 的控制輸出精度。同時，精密環控設備內部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個位置的物品處于相同環境條件；而且在長時間運行中，精密環控設備的溫濕度控制需保持穩定，波動范圍越小越好，像極測的設備內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK（靜態），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  

極測精密恒溫潔凈棚還配備了智能運維系統。運行中的溫度、濕度等關鍵數據自動生成曲線，操作人員可以直觀地掌握環境變化情況；數據自動保存且可隨時導出，運行狀態與故障狀態同步記錄，方便進行數據分析、質量追溯與故障排查。自動**保護系統更是為設備的穩定運行提供了全天候保障，一旦出現異常，系統將立即啟動保護機制，減少因故障導致的測量中斷和晶圓報廢。 極測先進的環境控制技術，為晶圓操作空間樹立了新的行業標準。精密恒溫潔凈棚不僅解決了半導體制造中環境控制的難題，更為芯片的高精度制造和研發提供了堅實的保障。隨著半導體技術的不斷發展，對晶圓操作環境的要求也將越來越高，而極測精密恒溫潔凈棚，必將在未來的產業發展中發揮更加重要的作用，助力我國半導體產業邁向新的高度。專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，使實驗室內溫度濕度處于穩定狀態。

高精密環控柜由我司自主研發，是一款精密環境控制產品，可實現ISOClass1-6級潔凈度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的溫度波動控制。擁有全場景非標定制能力，能針對用戶的個性化需求（如溫濕度穩定性、潔凈度、抗微振、防磁、隔音等）提供解決方案。設備運行數據實時記錄查詢，且配備自動**保護系統，確保長時間運行無憂。其構成部分包括設備主柜體、控制系統、氣流循環系統、潔凈過濾器、制冷（熱）系統、照明系統、局部氣浴等，主要為光刻機、激光干涉儀等精密測量與制造設備，提供超高精度的溫濕度及潔凈度工作環境。濕度控制采用 “外環境保證相對濕度、大環境穩定絕dui含濕量” 的方式，通過精確控溫實現環境倉內部濕度穩定。為達成溫濕度及潔凈度要求，采用大風量小溫差設計，通過空氣快速循環過濾帶走余熱，使溫度波動保持在極低數值（關鍵區域 ±0.002℃）；并通過多級控溫（先經表冷盤降溫，再由多級電加熱逐步升溫），將溫度精度從 ±0.1℃升級至 ±0.002℃。我們的解決方案集成了精密溫控、潔凈控制、濕度控制（蕞高±0.3%RH）、及抗微振功能的綜合環境配套系統。北京膜厚測量儀精密溫控

一般來說，潔凈室的潔凈度要達到Class 1到Class 100的標準。北京微電子精密溫控

不同場景對精密環控設備的設計和功能要求差異很大，比如實驗室用的精密環控設備與工業生產線配套的精密環控設備，在結構和性能側重上就大不相同。其次要明確溫濕度要求，根據實際需求確定所需控制的溫度和濕度穩定性參數，這是精密環控設備能否滿足關鍵需求的基礎。不同潔凈度標準對精密環控設備的過濾系統等設計影響很大。除了溫濕度和潔凈度，如光照、氣壓等，這會影響精密環控設備的功能配置。另外，使用頻率也不容忽視，如果需要長時間連續使用，精密環控設備的穩定性和可靠性就極為關鍵；而偶爾使用時，可適當降低對設備部分性能的要求。

在眾多精密環控設備供應商中，極測（南京）技術有限公司值得關注。作為南京拓展科技旗下企業，極測（南京）憑借深厚的技術沉淀與持續的創新熱忱，在行業內嶄露頭角。該公司擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環境參數及使用需求，涵蓋溫濕度穩定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等個性化需求。其研發的精密環控柜蕞高可實現±0.002℃高精密溫度控制，以及潔凈度十級的潔凈環境，已成功為光刻機、激光干涉儀等精密儀器提供穩定工作環境，服務了多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業與**重點實驗室。 北京微電子精密溫控