四川精密溫控艙 創新服務 南京拓展科技供應

極測（南京）專注精密環境控制解決方案，現已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板企業與**重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景。目前，高精密環境控制設備已實現蕞高溫控精度±0.002℃，潔凈度十級以上。擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環境參數及使用需求，比如溫濕度穩定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等，持續**超高精密環控技術革新。當前半導體行業處于快速發展與技術迭代的關鍵期，本土供應鏈的完善與升級至關重要。極測（南京）技術此次業績表現，不僅標志著公司在市場拓展與業務運營上實現突破，展現出強勁的增長態勢，更體現了其在半導體精密環控領域的核心競爭力持續提升，為后續發展奠定了堅實基礎。半導體生產過程中使用的許多材料對濕度也非常敏感。例如，光刻膠在高濕環境下容易吸濕，影響其固化效果。四川精密溫控艙

三坐標測量儀通過探針接觸或非接觸式光學掃描等方式，對工件的尺寸、形狀和位置進行精確測量。在測量過程中，環境溫度的細微變化會引發測量儀自身結構以及被測工件的熱脹冷縮。例如，當溫度波動 1℃時，對于長度為 1 米的金屬工件，其長度變化可達 10 微米左右，這在高精度測量中是不容忽視的誤差來源。這種熱變形不僅會影響測量儀的測量精度，還可能導致測量結果的重復性變差，使生產過程中的質量檢測出現偏差，進而影響產品的蕞終質量和性能。四川精密溫控艙專為高精度恒溫恒濕控制設計的PID算法，使實驗室內溫度濕度處于穩定狀態。

半導體制造中鍵合設備對環境要求極高，需在恒溫、恒濕、高潔凈的環境中運行，同時嚴格控制振動與靜電。這些要求旨在確保鍵合界面的材料活性穩定、設備機械精度達標，避免因溫濕度波動導致的鍵合偏差、顆粒污染引發的界面缺陷或靜電損壞芯片，從而保障微米級至亞微米級鍵合精度及產品良率與可靠性。 精密潔凈間的主柜體為內部精密組件構筑起穩固的運作空間；依托高精密控溫技術，以0.1%的精密控制輸出精度。此外，精密潔凈間設備配備的氣流循環系統，通過風機驅動氣流定向循環，結合高效潔凈過濾器，不僅能確保設備內部溫度均勻分布，更能達到百級以上的超高潔凈標準，工作區域潔凈度蕞高優于ISO class3，為半導體光刻機、鍵合設備等對環境要求嚴苛的精密儀器，打造了近乎完美的研發生產環境。

控制精度是衡量精密環控設備的關鍵指標，通常以溫度和濕度的偏差值表示，如 ±0.1℃和 ±1% RH，偏差值越小，精密環控設備的控制能力越強。極測（南京）技術有限公司的精密環控設備運用自主研發的高精密控溫技術，能達到 0.1% 的控制輸出精度。同時，精密環控設備內部的溫濕度均勻性也很重要，能確保各個位置的物品處于相同環境條件；而且在長時間運行中，精密環控設備的溫濕度控制需保持穩定，波動范圍越小越好，像極測的設備內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK（靜態），溫度水平均勻性小于 16mK/m。  極測（南京）深憑借在微環境控制領域的深厚技術積累，為高duan半導體量測設備設計精密環控系統。

干涉儀對精密微環境的嚴苛需求：干涉儀的納米級測量精度極易受環境干擾。其基于光的干涉原理工作，通過測量干涉條紋變化精確測定物體長度、角度、表面平整度等參數，精度可達納米級別。溫度波動引致光學元件熱變形，改變光路并偏移干涉條紋；塵埃與濕度波動則加速設備損耗，干涉儀精密微環境的穩定性直接決定測量成敗。前列的精密溫控能力：干涉儀微環境穩定關鍵極測精密溫控技術可實現內部溫度穩定性關鍵區域可達 +/-2mK（靜態），溫度水平均勻性小于 16mK/m。這一精度確保了在立式干涉儀運行時，光學元件與機械結構不受溫度波動干擾，始終維持在蕞佳工作狀態，為精Zhun測量提供穩定基礎。百級潔凈+濕度協同打造干涉儀長效微環境系統通過極測精密微環境控制系統，實現濕度控制與百級以上潔凈，同步解決光學件霉變、金屬銹蝕及塵埃光路干擾問題，為干涉儀構建多參數協同精密微環境。智能精密溫控：干涉儀微環境運維閉環實時監控干涉儀微環境溫濕度等數據，自動生成運行趨勢曲線，支持故障追溯與質量分析。智能防護模塊保障精密溫控設備24小時連續運行，避免測量中斷。系統由設備主柜體、潔凈過濾系統、局部氣浴、控制系統、氣流循環系統、制冷(熱)系統等組成。浙江精密溫控場景

數據全流程可溯：實時記錄并圖形化顯示溫度、濕度等關鍵環境參數變化曲線，數據自動存儲并支持表格導出。四川精密溫控艙

極測（南京）關鍵技術市如何適配半導體嚴苛需求的？毫 K 級控溫的技術密碼專li級 PID + 逐級控溫：通過 “超高精度工藝冷卻水系統及其恒溫控制方法” 專li，結合自主研發溫度采集模塊與多級制冷回路設計，實現對蝕刻機腔體溫度的±0.001℃級控制，例如在 EUV 光刻機中，可確保光刻膠曝光時的熱形變小于 1 納米；板式換熱器強化傳熱：微通道結構與不銹鋼材質提升換熱效率 30% 以上，同時避免銅離子污染（半導體行業忌用材質），滿足晶圓制造對水質純凈度的要求。抗干擾與快速響應能力雙壓縮機冗余設計：在晶圓廠 24 小時連續生產中，單壓縮機故障時備用模塊可在快速自動切入，避免因停機導致的工藝中斷；變頻技術動態調溫：通過壓縮機變頻調節制冷量，在芯片測試環節面對多工位負載切換時，溫度恢復時間很大縮短。四川精密溫控艙